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Ablation Laser Pulsée

2. Caractéristique techniques du système lensois
   • Laser excimère Compex Pro 102 KrF 248 nm
   • Enceinte sous vide munie d’une cartouche chauffante céramique pour porte-substrat et pouvant atteindre les 800°C.
   • 4 porte-cibles rotatifs de 1 pouce indépendants.
   • Débitmètre massique avec gamme variable de 1-5 sccm ; 1-50 sccm et 1-500 sccm
   • Porte cibles - Introduction des gaz (N₂, O₂,…)
   • Porte substrat chauffant
   • Capteur de pression
   • Laser à excimère KrF λ = 248 nm